µCMM
최상의 정밀도로 미세한 표면의 구조를 분석할 수 있는
광학식 Coordinate Measuring Machine
접촉식과 광학식의 장점을 결합한 최초의 순수 Optical Coordinate Measuring Machine이라고 할 수 있는 μCMM은 극히 작은 공차와 높은 정확도를 요하는 곳에 적용할 수 있으며, 다음과 같은 장점이 있음.
- 단일 센서로 치수, 위치, 형상과 표면거칠기 측정
- 전 측정 영역에서의 높은 정확도
- Focus Variation 기술을 적용한 비접촉 광학식 3차원 측정
- 고광택 표면 측정 용이
- 쉬운 사용법
- 생산 현장에 적합한 마모가 없고 우수한 내구성
- EUni:Tr:ODS,MPE = (0.8 + L/600)μm, EUniZ:St:ODS,MPE = (0.15 + L/50)μm
본 설비는 각각의 3차원 데이터간의 높은 기하학적 정확도와 위치정밀도, 작은 표면의 상세한 정보를 제공함. 측정 가능한 표면은 일반 산업용 소재와 PCD, CFRP, 세라믹, 크롬, 실리콘등과 같은 복합물등 그 폭이 넓음.
자동화와 단일 클릭 솔루션, 인체공학적인 제어장치로 조작이 간편하고, 에어 베어링이 장착된 리니어 드라이브 적용으로 마모가 없고 높은 정확도와 빠른 측정이 가능함. 상기와 같은 특징으로 μCMM은 내구성이 우수하여 생산 현장에 적용이 가능한 이상적인 광학식 3차원 측정기라 할 수 있음.
Technical specifications
| 측정원리 | 비접촉 광학식 3차원 측정, Focus-Variation & Vertical Focus Probing technology | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 측정결과 |
단일면 측정: X: 1720, Y: 1720, X x Y: 2.95 million 대면적 측정: up to 500 million |
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| 측정공간크기(X x Y x Z) | 310mm x 310mm x 310mm = 29,791,000mm3 | ||||||||
| 축 이송속도 | Up to 100mm/s | ||||||||
| 동축조명 | 전기적으로 제어되는 고출력 LED 동축 조명 (color) | ||||||||
| 시스템감시 | 9개 온도센서 (정확도: ± 0.1K), 3개 진동센서, 내부 전류와 전압감시, 사용기록, 복구 포함. | ||||||||
| 3D Accuracy 10360-8 |
EUni:Tr:ODS,MPE = (0.8 + L/600) μm (L in mm), ISO 10360-8 기준 EUniZ:St:ODS,MPE = (0.15 + L/50) μm (L in mm), 단일 측정& 단차 측정시 기준 |
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| 대물렌즈 | 3000WD8 | 1900WD30 | 1500WD23 | 1500WD70 | 800WD17 | 800WD37 | 400WD19 | 150WD11 | |
| 작동거리 | mm | 8.8 | 30 | 23.5 | 69.4 | 17.5 | 37 | 19 | 11 |
| 수평측정길이(X,Y) | mm | 5.26 | 3.29 | 2.63 | 2.63 | 1.32 | 1.32 | 0.66 | 0.26 |
| 수평측정면적(X x Y) | mm2 | 27.64 | 10.8 | 6.91 | 6.91 | 1.71 | 1.71 | 0.43 | 0.06 |
