InfiniteFocus SL
단편하고, 신뢰성과 반복성 우수한 3차원 측정기
InfiniteFocusSL은 미세 구조가 있는 표면의 형상과 표면 상태를 쉽고 빠르며, 신뢰성이 우수한 측정을 위한 비용 대비 효율성 있는 광학 3차원 시스템임. 단 하나의 시스템으로 제품의 형상과 표면거칠기 모두 측정 가능함.
또한 높은 명암 대비와 초점 심도를 가진 컬러 이미지를 얻을 수 있으며, 50mm x 50mm의 측정영역과 최대 33mm의 긴 작동 거리를 통해 광범위한 영역에 적용이 가능함.
측정은 몇 초 만에 이루어지며, 동축 레이저와 같은 기능은 작업자가 신속하고 쉽게 제품 측정에 활용할 수 있음. 자동화 인터페이스를 갖춘 InfiniteFocusSL은 생산 시 완전 자동 측정에도 적용할 수 있음.
Technical specifications
| 측정원리 | 비접촉 광학식 3차원 측정, Focus-Variation | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 측정공간크기(X x Y x Z) |
RL 대물렌즈: mot.: 50mm x 50mm x 155mm (Z: 25mm mot., 130mm man.) = 387 500mm3 SXRL/AXRL 대물렌즈: mot.: 50mm x 50mm x 120mm (Z: 25mm mot., 95mm man.) = 300 000mm3 |
|||||||||
| 대물렌즈 | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| 작동거리 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 |
| 수평측정길이(X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 4.87 | 3.61 | 2 | 1 | 0.4 |
| 수평측정길이(X x Y) | mm2 | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 23.72 | 13.03 | 4 | 1 | 0.16 |
| 수직분해능 | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| 단차 정확도(1mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 최대측정영역 | mm2 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
| 최소 Ra값 | μm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 |
| 최소 Sa값 | μm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 |
| 최소 반경 | μm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |
