IF-SensorR25
작업 현장에서 자동 형상 및 표면거칠기 측정을 위한 광학 측정 센서
작업 현장에서 자동으로 형상 및 표면거칠기 측정을 위한 광학 측정 센서로 IF-SensorR25는 생산 라인에 접목되어 μm 또는 sub-μm의 표면 특성을 고분해능으로 반복성과 신뢰성 있게 측정하기 위한 3차원 광학 센서임. IF-SensorR25는 In-line과 실험실에서도 동일한 측정 프로세스를 사용할 수 있는 일종의 플랫폼임.
표준화된 인터페이스(예: QDAS)는 비교 측정할 수 있게 생산 라인에 쉽고 빠르게 결합할 수 있게 지원함. 6축 협동 로봇과 결합한 IF-SensorR25는 유연성 있는 품질 보증과 대형 제품의 미세 구조 측정에 적용된 Collaboratiove Robots(Cobot)이 있음.
Technical specifications
| 측정원리 | 비접촉 광학식 3차원 측정, Focus-Variation | |||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 측정공간크기(Z) | 25 mm (mot.) | |||||||||
| 대물렌즈 | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 4xAX | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| 작동거리 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 30 | 34 | 33.5 | 20 | 13 |
| 수평측정길이(X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 4.87 | 3.61 | 2 | 1 | 0.4 |
| 수평측정길이(X x Y) | mm2 | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 23.72 | 13.03 | 4 | 1 | 0.16 |
| 수직분해능 | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 620 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| 단차 정확도(1mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 최소 Ra값 | μm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 |
| 최소 Sa값 | μm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 |
| 최소 반경 | μm | 5 | 3 | 2 | 20 | 12 | 10 | 5 | 3 | 2 |
