
InfiniteFocus G6
매끄러운 표면의 미세한 형상과 표면거칠기를 측정하는 광학 장치
InfiniteFocus G6는 빠르고 정확한 다목적 광학식 3차원 측정설비로, 특히 미세하고 고광택의 표면을 광학식으로 형 상과 표면거칠기 측정을 위해 설계 되었음. μm 또는 sub-μm 범위 내에서 작동하는 이 장치는 제품의 크기, 소재, 형상, 무게 또는 표면 상태와 관계없이 정확 한 결과를 단일 센서로 제공함.
이 혁신적인 설비는 표면거칠기 측정(Ra, Rq, Rz/Sa, Sq, Sz) 기능과 3차원 측정기의 특성을 결합했으며, 강력한 Focus-Variation 기술과 진동 경감 설계는 공작 기계 바로 옆에서도 고분해능과 반복성 있는 결과를 보장함.
제조 환경에서의 뛰어난 성능 외에도, InfiniteFocus G6는 오프라인 측정 계획을 위해 CAD 시스템과의 원활한 통합 솔루션을 제공하며, 내장된 자동화 인터페이스는 완전히 자동화된 측정을 지원하여 생산 환경에 최적화된 술루션을 제공함.

Technical specifications
측정원리 | 비접촉 광학식 3차원 측정, Adv. Focus-Variation(SmartFlash 2.0) & Vertical Focus Probing, Real3D | |||||||
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측정공간크기(X x Y x Z) | 200mm x 200mm x 180mm = 7,200,000mm3 | |||||||
측정공간크기(R x T) | AdvancedReal3DUnit (optional): Motorized rotation: 360° / Motorized tilt: -15° to +90° | |||||||
대물렌즈 | 1900 WD30 | 800 WD37 | 800 WD17 | 400 WD30 | 400 WD19 | 150 WD11 | 80 WD4 | |
작동거리 | mm | 30 | 37 | 17.5 | 30 | 19 | 11 | 4.5 |
수평측정길이(X,Y) | mm | 3.8 | 1.6 | 1.6 | 0.8 | 0.8 | 0.3 | 0.16 |
측정점간 거리 | μm | 1.77 | 0.72 | 0.72 | 0.36 | 0.36 | 0.14 | 0.07 |
측정노이즈 | nm | 80 | 40 | 15 | 20 | 5 | 2 | 1 |
수직분해능 | nm | 250 | 130 | 50 | 80 | 30 | 15 | 10 |
최소 Ra값 | μm | n.a. | 0.7 | 0.18 | 0.24 | 0.12 | 0.05 | 0.03 |
최소 Sa값 | μm | n.a. | 0.35 | 0.09 | 0.12 | 0.06 | 0.025 | 0.015 |
최소 반경 | μm | 12 | 5 | 5 | 3 | 3 | 2 | 1 |