EdgeMaster Series
자동화된 고분해능의 절삭공구 인선 측정 솔루션
EdgeMaster Series는 Edge Master, EdgeMasterX 및 EdgeMasterHOB으로 구성되어 있으며, 생산 현장에서 절삭 공구 인선을 고분해능으로 자동 측정을 위한 시스템임. 측정실에서든 작업 현장에서든 결과는 변하지 않으며, 시스 템이 견고하여 주변 진동, 외부 빛과 온도 변화에도 고분해능의 측정 결과를 얻을 수 있음.
인선 반경 2μm이상과 공구의 경사각, 쐐기각 및 여유각도 측정할 수 있으며, Waterfall or Trumpet type 형상도 정 밀하게 구분할 수 있음. 진동, 온도변화 및 주변 조명 변화에도 높은 수직분해능으로 반복성과 신뢰성 있는 결과를 얻을 수 있음. 또한 EdgeQuality 모듈로 인선, 경사면 및 여유면등의 표면거칠기도 측정이 가능함.
Technical specifications
| 측정원리 | 비접촉 광학식 3차원 측정, Focus-Variation | ||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 측정공간크기(X x Y x Z) |
RL 대물렌즈: mot.: 50mm x 50mm x 155mm (Z: 25mm mot., 130mm man.) = 387 500mm3 SXRL/AXRL 대물렌즈: mot.: 50mm x 50mm x 120mm (Z: 25mm mot., 95mm man.) = 300 000mm3 |
||||||||
| 대물렌즈 | 10x | 20x | 50x | 2xSX | 5xAX | 10xAX | 20xAX | 50xSX | |
| 작동거리 | mm | 17.5 | 16 | 10.1 | 34 | 34 | 33.5 | 20 | 13 |
| 수평측정길이(X,Y) | mm | 2 | 1 | 0.4 | 10 | 3.61 | 2 | 1 | 0.4 |
| 수평측정길이(X x Y) | mm2 | 4 | 1 | 0.16 | 100 | 13.03 | 4 | 1 | 0.16 |
| 수직분해능 | nm | 100 | 50 | 20 | 3500 | 460 | 130 | 70 | 45 |
| 단차 정확도(1mm) | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| 최대측정영역 | mm2 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 | 2500 |
| 최소 Ra값 | μm | 0.3 | 0.15 | 0.08 | n.a. | n.a. | 0.45 | 0.25 | 0.15 |
| 최소 Sa값 | μm | 0.15 | 0.075 | 0.05 | n.a. | n.a. | 0.25 | 0.1 | 0.08 |
| 최소 반경 | μm | 5 | 3 | 2 | 20 | 10 | 5 | 3 | 2 |
