FocusX

제원, 위치, 형상 및 표면거칠기 측정을 위한
광학식 3차원 측정 장치

하나의 광학 센서로 치수, 위치, 형상, 표면거칠기를 고분해능, 높은 반복성과 소급성으로 동급에서 가장 다양하고 빠른 광학 3차원 측정기임. 반사가 심한 표면, 가파른 경사면과 복잡한 형상에 적용할 수 있으며, 작은 반경, 예각, 작은 공차 측정이 가능하고 대량 생산에도 적용이 가능함.

FocusX 운용은 효율적이고 간단하며, 전문지식 없이 한 번의 클릭으로 ISO규격 표면거칠기 결과를 쉽고 빠르게 획 득할 수 있음.

FocusX는 고분해능과 정밀도, 그리고 기하학적 정확도로 몇 초 안에 수백만개 점 데이터를 생성함.

Technical specifications

측정원리	비접촉 광학식 3차원 측정, Adv. Focus-Variation(SmartFlash 2.0) & Vertical Focus Probing, Real3D
측정공간크기(X x Y x Z)	100mm x 100mm x 100mm = 1,000,000mm³
측정결과	단일면 측정: X: 2160, Y: 2160, X x Y: 4.6 million / 대면적 측정: up to 500 million
대물렌즈		1900 WD30	800 WD37	800 WD17	400 WD19	150 WD11
작동거리	mm	30	37	17.5	19	11
수평측정길이(X,Y)	mm	3.8	1.6	1.6	0.66	0.3
측정점간 거리	μm	1.77	0.72	0.72	0.36	0.14
측정노이즈	nm	100	90	20	12	6
수직분해능	nm	290	260	60	35	20
최소 Ra값	μm	n.a.	n.a.	0.18	0.13	0.06
최소 Sa값	μm	n.a.	n.a.	0.09	0.07	0.04
최소 반경	μm	12	10	5	3	2