MeX
SEM 이미지를 3차원 데이터로 변환시키는 소프트웨어
MeX는 모든 SEM 디지털 이미지를 3차원 데이터로 구현하는 독립형 소프트웨어임. 본 소프트웨어는 스테레오 이미지들에서 3차원 정보를 자동으로 검색하여, 신뢰성 있는 계측 검사에 필요한 고밀도 의 정확한 3차원 데이터를 생성함.
3차원 데이터는 SEM의 적용 배율과는 상관없으며, MeX 소프트웨어는 별도로 하드웨어가 필요하지 않으며, SEM에 설치해 사용할 수 있음.
독특한 AutoCalibration 알고리즘으로 디지털 이미지상의 각각의 정보를 자동적으로 정렬 및 필터링함으로 SEM의 모든 배율 조건에서도 신뢰성 있는 3차원 데이터를 MeX 소프트웨어는 구현함.
